控制气体流量的仪器叫什么

质量流量计MFM是一种精确测量气体流量的仪器，不受温度或压力波动影响，无需温度压力补偿而质量流量控制器MFC则不仅具备MFM功能，还能自动控制气体流量，用户可设定流量，控制器会确保流量恒定，即使系统压力或环境温度变化，也不会偏离设定值，是一种自动稳流装置MFC内部包括流量传感器分流器。

半导体制造在化学气相沉积CVD蚀刻等工艺中，精确控制反应气体流量如SiH？NF？直接影响晶圆良率分析仪器气相色谱仪中，载气如HeN？流量稳定性决定色谱峰分离效果和检测限生物科技生物反应器内通过MFC精确供氧，维持细胞培养所需的溶解氧浓度如CHO细胞培养需530% O？环境。